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多光束掃描系統:Multi-Beam Scanner

多光束掃描系統:Multi-Beam Scanner


      Pulsar Photonics多光束掃描系統,其機理是將單束激光分成多束子光束并導入掃描振鏡,采用多光束并行加工的新型激光掃描系統。通過掃描器運動,每個光斑在工作平面可生成完全相同 任意形狀的光斑圖案。這種新的掃描理念能發揮激光全功率的相當一部分,從而提高加工效率,降低加工成本。


主要特點:

      可10-100倍提高微納加工速度

      尤其適合用皮秒,飛秒激光器微納加工

      適合用大量的,周期性微納結構加工或表面微結構加工


技術參數:

使用波長353-1064nm
nxm矩陣圖案典型值4x4方陣
光學效率
>70%
光斑均勻性誤差
<7%
光斑圖典型周期0.3-2nm


應用實例:

◆并行生產高精密復雜結構

◆高速激光鉆孔

◆功能性表面處理              


關于德Pulsar Photonics公司:

     德國Pulsar Photonics公司是德國Fraunhofer 研究所 ,致力于新型超快激光加工系統和器件開發。




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