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準分子激光器: CL5000

準分子激光器: CL5000


       準分子激光器是傳統的氣體激光器,由于波長短(紫外),短脈沖寬度,高脈沖能量,是激光器家族不可替代的品種!應用上,準分子激光器在脈沖沉積鍍膜(PLD),光纖光柵刻寫,LASIK,光刻,微納加工等方面占主導的地位。

CL5000系列技術參數:

型號ArFKrFXeCl
波長193 nm248 nm308 nm
管材料陶瓷
預電離電暈處理技術
標準脈沖能量20 mJ40 mJ25 mJ
平均功率
CL 5100
CL 5200
CL 5300

2 W
4 W
5 W

4 W
7 W
10 W

2.5 W
4.5 W
6.5 W
最大重復頻率
CL 5100
CL 5200
CL 5300

100 Hz
200 Hz
300 Hz
脈寬8-10 ns9-11 ns
脈沖能量穩定度sigma < 2%
光斑尺寸5 x 12 mm6 x 12 mm
光束發散角2 x 4 mrad (stable resonator)
時間抖動< 2 ns
尺寸, (重量)800L x 330W x 571H мм (80 kg)
冷卻
CL 5100
CL 5200/5300
風冷
水冷(水流< 1L/min)
電源220V / 50Hz, 10А, 不超過1000 VA
氣體1 premix cylinder
控制接口RS 232, DOS/Windows


可選功能:

1、1000Kz型號可選
2、窄線寬型號可選,線寬0.03cm-1
3、F2,157nm型號可選

特點:      

1、陶瓷放電激光腔設計,長壽命
2、激光腔,電子系統一體化設計
3、功率穩定運行模式
4、預混合供氣,使用簡單
5、計算機控制

應用 :

1、準分子視力屈光矯正(LASIK)
2、準分子激光光柵光纖(FBG)刻寫
3、準分子激光材料加工,微納制造,光刻


 激光腔,電子系統一體化設計,系統緊湊


 CL5000系統機械尺寸圖


 CL5000準分子激光器光斑模式圖,優秀的光學模式


 基于CL5000ArF準分子激光器視力屈光矯正系統,該系統已經獲得中國政府頒發的銷售許可證,并有多個系統在中國安裝


 準分子激光器光纖光柵(FBG)刻寫原理圖。準分子激光器通常采用KrF(248)


關于俄羅斯OptoSystems公司:

        俄羅斯OptoSystems公司位于莫斯科,隸屬于俄羅斯科學院基礎物理研究所物理儀器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇員超過40人。俄羅斯OptoSystems公司最重要的產品是準分子激光器。同時OptoSystems公司還開發出準分子激光器視力屈光矯正系統(LASIK),該系統已經獲得中國政府頒發的銷售許可證,并有數臺已經在中國安裝。俄羅斯OptoSystems公司的產品線還包括脈沖CO2激光器,YAG激光器等。

資料下載:

CL5000

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